m-cat Vermessung von Magnetrons und Magnetbars

m-cat

Magnetron / Magnet Bar Analyse für Sputteranlagen

Drehbare Magnetrons bzw. einstellbare Magnet Bars beim Sputtern für die Floatglas Beschichtung erfahren durch das m-cat System eine exakte Vermessung und Analyse. Defekte Magnetrons / Magnet Bars werden frühzeitig und sicher erkannt, die Schichtdickenhomogenität wird erhöht und ein Durchsputtern vermieden.

 

m-cat measuring unit

Sputtern

auf Glas oder Silizium ist mit hohen Qualitätsansprüchen verbunden, da bereits geringe Schwankungen der Dicke abgeschiedener Schichten einen erheblichen Einfluss auf die Eigenschaften der Schichtsysteme haben können.

Bei Floatglas, das für den Einsatz im Fenster- und Fassadenbau vorgesehen ist, ändern sich u. U. Farbe und Transmissionseigenschaften. Bei Gläsern, die eine Basis für die Solarzellenherstellung bilden, führen Schichtdickenschwankungen zu Ungleichmäßigkeiten der elektrischen Eigenschaften.

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Die Schichteigenschaften

lassen sich unter anderem durch den Partialdruck des Sputter-Gases oder das Magnetfeld beeinflussen, wobei die Änderung der Gaszusammensetzung neben der Schichtdicke immer die Schichtzusammensetzung beeinflusst. Daher kommt einzig die Kontrolle und Justierung des Magnetfeldes für die exakte Korrektur der Schichtdicke in Frage!

Das System m-cat hilft, die magnetische Komponente in Sputteranlagen in den Griff zu bekommen, indem Rohr Magnetrons präzise charakterisiert werden können. Neben der exakten Vermessung und Analyse der Magnetfeldkonfiguration bietet das m-cat System Hilfestellung bei justierbaren Magnetrons unabhängig vom Hersteller. Darüber hinaus erfolgt die Ermittlung der Geometrie des Magnetrons (Durchbiegung) für die Sicherstellung eines störungsarmen Betriebes.

Mit dem Einsatz von m-cat erhöhen Sie

m-cat Computer und Software



  • die Prozesssicherheit, da neue Magnetrons einer Eingangskontrolle unterzogen werden können und defekte Magnetrons früher und sicher erkannt werden.
  • die Schichtdickenhomogenität, da justierbare Magnetrons kontrolliert eingestellt werden, bzw. passende Magnetrons einfacher kombiniert werden können.
  • die Lebenszeit von Targets, da ein Durchsputtern der kostenintensiven Targets vermieden werden kann.

Das m-cat Sys­tem für die Ver­mes­sung dreh­ba­rer Ma­gne­trons bzw. ein­stell­ba­rer Ma­gnet Bars beim Sput­tern für die Float­glas Be­schich­tung kann auf die spe­zi­fi­schen Kun­den­be­dürf­nis­se an­ge­passt wer­den.

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Eigenschaften

  • Erfassung der vollständigen Magnetfeldkontur
  • Vollständige Vermessung innerhalb von 1 Minute
  • Geometrieerkennung mit maximaler Durchbiegung des Magnetrons
  • Länge von 0,4 – 4,0 m
  • Systeme für Rundkathoden sowie Flachkathoden Magnetrons verfügbar
  • Anpassbarkeit an Messaufgabe
  • Optional im Target messbar
  • Optional Target Parameter (Durchmesser, Durchbiegung) erfassbar
  • Implementierung des Systems in einen bereits vorhandenen Herstellungsprozess möglich
  • Hohe Benutzerfreundlichkeit

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Magnetische Parameter

  • Magnetfeldkonfiguration: 33 Kanäle (X,Y,Z) +/- 1%
  • Erfassung der minimalen und maximalen Magnetfeldstärke
  • Geometrieerkennung mit maximaler Durchbiegung des Magnetrons
  • Trimmhilfe-Funktion für trimmbare Magnetrons
  • Graphische Darstellung des Feldverlaufs
  • Geometrie des Magnetrons (Lage des magnetischen Funktionsteils): +/- 0,1 mm
  • Geometrie des Targets (Durchmesser, Durchbiegung): +/- 0,1 mm
  • Optional Target Parameter (Durchmesser, Durchbiegung) erfassbar
  • Software mit Lebenszyklus Management, diversen Ansichten und Einstellmöglichkeiten
  • HSpeicherung und Exportfunktion einzelner Messreihen im CSV-Format