Sputtern auf Glas oder Silizium ist mit hohen Qualitätsansprüchen verbunden, da bereits geringe Schwankungen der Dicke abgeschiedener Schichten einen erheblichen Einfluss auf die Eigenschaften der Schichtsysteme haben können. Bei Floatglas, das für den Einsatz im Fenster- und Fassadenbau vorgesehen ist, ändern sich u. U. Farbe und Transmissionseigenschaften. Bei Gläsern, die eine Basis für die Solarzellenherstellung bilden, führen Schichtdickenschwankungen zu Ungleichmäßigkeiten der elektrischen Eigenschaften. Die Schichteigenschaften lassen sich unter anderem durch den Partialdruck des Sputter-Gases oder das Magnetfeld beeinflussen, wobei die Änderung der Gaszusammensetzung neben der Schichtdicke immer die Schichtzusammensetzung beeinflusst. Daher kommt einzig die Kontrolle und Justierung des Magnetfeldes für die exakte Korrektur der Schichtdicke in Frage!

Das System m-cat hilft, die magnetische Komponente in Sputteranlagen in den Griff zu bekommen, indem Rohr Magnetrons präzise charakterisiert werden können. Neben der exakten Vermessung und Analyse der Magnetfeldkonfiguration bietet das m-cat System Hilfestellung bei justierbaren Magnetrons unabhängig vom Hersteller. Darüber hinaus erfolgt die Ermittlung der Geometrie des Magnetrons (Durchbiegung) für die Sicherstellung eines störungsarmen Betriebes.

• Erfassung der vollständigen Magnetfeldkontur
• Systeme für Rundkathoden sowie Flachkathoden Magnetrons verfügbar
• Implementierung des Systems in einen bereits vorhandenen Herstellungsprozess möglich
• Trimmhilfe-Funktion für trimmbare Magnetrons
• Hohe Benutzerfreundlichkeit